前半の１-４章では概要がまとめられ それ以降の章で各プロセスごとの詳しい 説明がなされています。 要求される基礎知識は高くなく、用語なども 解説されているので読みやすい本です。ただ、 基本的な半導体の知識は必要とされますので化学系の 人が読む場合、所々で不明な点がでるかもしれません。 他の本とくらべて図が詳しく、またわかりやすいのが印象的です。プロセス全体の概要がわかるようになっていますので、ここのプロセスについて詳しく知るためにはこの本では不足ですが、入門書としてはとっつきやすい本でお勧めです。